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東京エレクトロン株式会社

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  2020年 出願公開件数ランキング    第38位 99件 上昇2019年:第58位 660件)

  2020年 特許取得件数ランキング    第70位 52件 下降2019年:第58位 415件)

(ランキング更新日:2020年2月19日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2020-24995 エッチング方法及び半導体デバイスの製造方法 2020年 2月13日
特開 2020-25013 基板処理装置のパーティクル除去方法および基板処理装置 2020年 2月13日
特開 2020-25018 プローブ装置、プローブの検査方法、及び記憶媒体 2020年 2月13日
特開 2020-25035 プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 2020年 2月13日
特開 2020-25055 酸素含有被処理体の処理方法及び処理装置 2020年 2月13日
特開 2020-25065 成膜方法及び成膜装置 2020年 2月13日
特開 2020-25070 エッチング方法およびエッチング装置 2020年 2月13日
特開 2020-25078 プラズマ処理方法およびプラズマ処理装置 2020年 2月13日
特開 2020-25079 プラズマ処理方法およびプラズマ処理装置 2020年 2月13日
特開 2020-25083 制御方法及びプラズマ処理装置 2020年 2月13日
特開 2020-25118 基板処理方法、基板処理装置及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 2020年 2月13日
特開 2020-25128 搬送装置および検査システム 2020年 2月13日

12 件中 1-12 件を表示

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