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東京エレクトロン株式会社

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  2020年 出願公開件数ランキング    第45位 580件 上昇2019年:第58位 660件)

  2020年 特許取得件数ランキング    第62位 307件 下降2019年:第58位 415件)

(ランキング更新日:2020年9月24日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2020-152976 成膜方法および成膜装置 2020年 9月24日
特開 2020-153716 温度測定機構、温度測定方法、およびステージ装置 2020年 9月24日
特開 2020-155387 プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 2020年 9月24日
特開 2020-155458 基板リフト機構、基板支持器、及び基板処理装置 2020年 9月24日
特開 2020-155471 半導体装置およびその製造方法 2020年 9月24日
特開 2020-155552 成膜装置の洗浄方法 2020年 9月24日
特開 2020-155616 膜をエッチングする方法及びプラズマ処理装置 2020年 9月24日
特開 2020-155648 プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 2020年 9月24日
特開 2020-155650 熱処理装置及び成膜方法 2020年 9月24日
特開 2020-155712 基板処理装置および載置台上のフォーカスリングの有無の検知方法 2020年 9月24日
特開 2020-155716 基板処理方法及び基板処理装置 2020年 9月24日
特開 2020-155718 基板処理装置の汚染処理方法、及び基板処理装置 2020年 9月24日
特開 2020-155729 処理装置及び処理方法 2020年 9月24日
特開 2020-155736 搬送装置 2020年 9月24日
特開 2020-155759 接合システム、および接合方法 2020年 9月24日

16 件中 1-15 件を表示

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2020-152976 2020-153716 2020-155387 2020-155458 2020-155471 2020-155552 2020-155616 2020-155648 2020-155650 2020-155712 2020-155716 2020-155718 2020-155729 2020-155736 2020-155759

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