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株式会社アルバック

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  2020年 出願公開件数ランキング    第192位 224件 上昇2019年:第252位 173件)

  2020年 特許取得件数ランキング    第293位 94件 下降2019年:第282位 100件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2020-132964 蒸着源、真空処理装置、及び蒸着方法 2020年 8月31日
特開 2020-132967 スパッタリングカソード 2020年 8月31日
特開 2020-132984 真空処理装置及び真空処理方法 2020年 8月31日
特開 2020-132985 真空処理装置及び真空処理方法 2020年 8月31日
特開 2020-136144 プラズマ状態測定装置、および、成膜装置 2020年 8月31日
特開 2020-136227 イオン注入装置、イオン源 2020年 8月31日
特開 2020-128585 蒸着源、真空処理装置、及び蒸着方法 2020年 8月27日
特開 2020-128587 スパッタリング装置 2020年 8月27日
特開 2020-125784 真空アクチュエータ、仕切りバルブ 2020年 8月20日
特開 2020-125815 仕切弁 2020年 8月20日
特開 2020-122211 スパッタリング装置及びスパッタリング方法 2020年 8月13日
特開 2020-122505 仕切りバルブ、スプール弁 2020年 8月13日
再表 2020-21772 スパッタリングターゲット及びスパッタリングターゲットの製造方法 2020年 8月 6日
特開 2020-117772 スパッタリング装置及び成膜方法 2020年 8月 6日
特開 2020-118513 層厚及び粘弾性係数の測定方法、及び層厚及び粘弾性係数の測定装置 2020年 8月 6日

229 件中 106-120 件を表示

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2020-132964 2020-132967 2020-132984 2020-132985 2020-136144 2020-136227 2020-128585 2020-128587 2020-125784 2020-125815 2020-122211 2020-122505 2020-21772 2020-117772 2020-118513

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