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東京エレクトロン株式会社

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  2020年 出願公開件数ランキング    第46位 324件 上昇2019年:第58位 660件)

  2020年 特許取得件数ランキング    第67位 168件 下降2019年:第58位 415件)

(ランキング更新日:2020年6月4日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2020-84251 基板処理装置、基板処理システム及び基板処理方法 2020年 6月 4日
特開 2020-84253 処理方法及び処理装置 2020年 6月 4日
特開 2020-84282 原料タンクの監視装置及び原料タンクの監視方法 2020年 6月 4日
特開 2020-86694 搬送ユニットの監視方法及び監視装置並びに監視用モデル 2020年 6月 4日
特開 2020-87943 挿抜機構及びブロック部材の交換方法 2020年 6月 4日
特開 2020-87960 搬送ロボットシステム、教示方法、及びウエハ収容容器 2020年 6月 4日
特開 2020-87969 プラズマ処理装置、及びリング部材の形状測定方法 2020年 6月 4日
特開 2020-87993 ポリシリコン膜の形成方法及び成膜装置 2020年 6月 4日
特開 2020-88048 載置台および被処理体の除電方法 2020年 6月 4日
特開 2020-88101 基板処理装置及び基板処理方法 2020年 6月 4日
特開 2020-88106 凹部の埋め込み方法 2020年 6月 4日
特開 2020-88113 基板処理装置および基板処理方法 2020年 6月 4日
特開 2020-88174 エッチング方法及び基板処理装置 2020年 6月 4日
特開 2020-88175 半導体膜の形成方法及び成膜装置 2020年 6月 4日
特開 2020-88193 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2020年 6月 4日

27 件中 1-15 件を表示

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