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東京エレクトロン株式会社

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  2016年 出願公開件数ランキング    第61位 616件 下降2015年:第56位 677件)

  2016年 特許取得件数ランキング    第49位 561件 上昇2015年:第51位 433件)

(ランキング更新日:2020年7月9日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特表 2016-541119 直流重ね合わせフリーズ 2016年12月28日
特表 2016-541125 ラインを正確にカットするためのグラホエピタキシャル誘導自己組織化の使用 2016年12月28日
特開 2016-222954 金属膜の成膜方法 2016年12月28日
特開 2016-225018 ガス処理装置およびそれに用いる多分割シャワーヘッド 2016年12月28日
特開 2016-225047 プラズマ処理装置 2016年12月28日
特開 2016-225203 プラズマ処理装置 2016年12月28日
特開 2016-225258 プラズマ処理装置 2016年12月28日
特開 2016-225356 半導体素子の製造方法 2016年12月28日
特開 2016-225396 金属膜のストレス低減方法および金属膜の成膜方法 2016年12月28日
特開 2016-225436 エッチング方法 2016年12月28日
特開 2016-225437 エッチング方法 2016年12月28日
特開 2016-225439 プラズマ処理装置及び基板剥離検知方法 2016年12月28日
特開 2016-225506 表面改質装置、接合システム、表面改質方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2016年12月28日
特開 2016-225521 基板処理装置及び基板処理方法 2016年12月28日
特開 2016-225567 クリーニング方法 2016年12月28日

623 件中 1-15 件を表示

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