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東京エレクトロン株式会社

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  2020年 出願公開件数ランキング    第43位 386件 上昇2019年:第58位 660件)

  2020年 特許取得件数ランキング    第64位 194件 下降2019年:第58位 415件)

(ランキング更新日:2020年7月2日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
再表 2019-12978 基板搬送装置および基板搬送方法 2020年 7月 2日
再表 2019-13022 搬送装置、基板処理システム、搬送方法、および基板処理方法 2020年 7月 2日
再表 2019-13042 基板処理システム、基板処理方法及びコンピュータ記憶媒体 2020年 7月 2日
再表 2019-21859 塗布処理装置、塗布処理方法及びコンピュータ記憶媒体 2020年 7月 2日
特表 2020-520125 高度なパターン形成用途のためのインサイチュでの選択的堆積及びエッチング 2020年 7月 2日
特開 2020-101593 レジスト組成物およびレジストパターン形成方法 2020年 7月 2日
特開 2020-102443 プラズマ処理装置、インピーダンスの整合方法、及びプラズマ処理方法 2020年 7月 2日
特開 2020-102567 基板処理装置及び基板処理方法 2020年 7月 2日
再表 2018-198466 洗浄方法、洗浄装置、記憶媒体、及び洗浄組成物 2020年 6月25日
特表 2020-519013 NFET及びPFETナノワイヤデバイスを製造する方法 2020年 6月25日
特表 2020-519032 設置面積を減少した製造環境のための垂直マルチ・バッチ磁気アニールシステム 2020年 6月25日
特開 2020-98808 熱処理装置 2020年 6月25日
特開 2020-98845 カーボンハードマスク、成膜装置、および成膜方法 2020年 6月25日
特開 2020-98869 基板処理装置用構造物及び基板処理装置 2020年 6月25日
特開 2020-98889 載置台及び載置台の作製方法 2020年 6月25日

388 件中 1-15 件を表示

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