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東京エレクトロン株式会社

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  2017年 出願公開件数ランキング    第83位 585件 下降2016年:第61位 616件)

  2017年 特許取得件数ランキング    第66位 431件 下降2016年:第49位 561件)

(ランキング更新日:2020年7月15日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2017-208546 STT‐MRAM積層体の加法的形成のための方法 2017年11月24日
特開 2017-204069 液処理装置、その制御方法及び記憶媒体 2017年11月16日
特開 2017-204404 プラズマ処理装置 2017年11月16日
特開 2017-204467 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2017年11月16日
特開 2017-204478 マイクロ波プラズマ処理装置及びマイクロ波供給方法 2017年11月16日
特開 2017-204482 非双極性電子プラズマにより異方性の単一エネルギー中性ビームを提供する方法及び機器 2017年11月16日
特開 2017-204531 エッチング方法 2017年11月16日
特開 2017-204564 成膜装置 2017年11月16日
再表 2016-104098 プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 2017年11月 9日
特開 2017-200667 排気処理装置、基板処理システム、及び、排気を処理する方法 2017年11月 9日
特開 2017-201060 重合化学蒸着を使用して平坦化層を堆積させる方法 2017年11月 9日
特開 2017-201611 プラズマ処理装置 2017年11月 9日
特開 2017-201653 凹部の埋め込み方法 2017年11月 9日
再表 2016-98582 プラズマ処理装置 2017年11月 2日
再表 2016-104205 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2017年11月 2日

593 件中 76-90 件を表示

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