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東京エレクトロン株式会社

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  2019年 出願公開件数ランキング    第58位 660件 上昇2018年:第67位 588件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第58位 415件 下降2018年:第50位 503件)

(ランキング更新日:2020年2月14日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2019-201014 基板処理方法、基板処理装置および基板処理システム 2019年11月21日
特開 2019-201047 クリーニング方法及び基板処理装置 2019年11月21日
特開 2019-201048 反応管ユニットの搬送方法 2019年11月21日
特開 2019-201075 基板処理装置および基板処理方法 2019年11月21日
特開 2019-201083 基板処理装置 2019年11月21日
特開 2019-201085 部材の駆動方法及び処理装置 2019年11月21日
特開 2019-201086 処理装置、部材及び温度制御方法 2019年11月21日
特開 2019-201087 部品の形成方法及びプラズマ処理装置 2019年11月21日
特開 2019-201088 部品の形成方法及び基板処理システム 2019年11月21日
特開 2019-201102 シリコン含有膜のエッチング方法、コンピュータ記憶媒体、及びシリコン含有膜のエッチング装置 2019年11月21日
特開 2019-201104 基板処理装置および基板処理方法 2019年11月21日
特開 2019-201107 現像処理装置および現像処理方法 2019年11月21日
特開 2019-201112 搬送方法および搬送装置 2019年11月21日
特開 2019-201147 基板処理方法及び基板処理装置 2019年11月21日
特開 2019-201149 基板処理装置及び基板処理方法 2019年11月21日

665 件中 91-105 件を表示

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