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東京エレクトロン株式会社

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  2019年 出願公開件数ランキング    第58位 660件 上昇2018年:第67位 588件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第58位 415件 下降2018年:第50位 503件)

(ランキング更新日:2020年5月27日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2019-194943 マイクロ波出力装置及びプラズマ処理装置 2019年11月 7日
特開 2019-194958 熱処理装置 2019年11月 7日
特開 2019-194960 塗布装置、塗布方法および有機ELディスプレイ 2019年11月 7日
特開 2019-195010 基板処理装置、基板処理方法及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 2019年11月 7日
特開 2019-195014 基板処理装置、基板処理システムおよび基板処理方法 2019年11月 7日
特開 2019-195016 温度監視装置、熱処理装置及び温度監視方法 2019年11月 7日
特開 2019-195017 温調機構及び液処理装置 2019年11月 7日
特開 2019-189908 成膜装置および成膜方法 2019年10月31日
特開 2019-192152 切替装置及び切替方法 2019年10月31日
特開 2019-192606 アンテナ装置、および、プラズマ処理装置 2019年10月31日
特開 2019-192725 有機領域をエッチングする方法 2019年10月31日
特開 2019-192726 プラズマ処理方法 2019年10月31日
特開 2019-192727 プラズマ処理方法 2019年10月31日
特開 2019-192728 温度制御方法 2019年10月31日
特開 2019-192733 処理装置及び埋め込み方法 2019年10月31日

665 件中 121-135 件を表示

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