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東京エレクトロン株式会社

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  2015年 出願公開件数ランキング    第56位 677件 上昇2014年:第58位 686件)

  2015年 特許取得件数ランキング    第51位 433件 下降2014年:第48位 694件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 5834783 マグネトロンスパッタ装置 2015年12月24日
特許 5834944 マグネトロンスパッタ装置及び成膜方法 2015年12月24日
特許 5835188 基板周縁部の塗布膜除去方法、基板処理装置及び記憶媒体 2015年12月24日
特許 5835195 乾燥処理用の高圧容器の製造方法及び基板処理装置の製造方法 2015年12月24日
特許 5835985 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2015年12月24日
特許 5836144 マイクロ波放射機構および表面波プラズマ処理装置 2015年12月24日
特許 5836419 プラズマエッチング方法 2015年12月24日
特許 5836848 補助露光装置 2015年12月24日
特許 5836906 基板処理装置および基板処理方法 2015年12月24日
特許 5836974 表示デバイス製造装置、表示デバイスの製造方法 2015年12月24日
特許 5837008 基板処理方法 2015年12月24日
特許 5837150 基板処理方法及びその基板処理方法を実行させるためのプログラムを記録した記録媒体 2015年12月24日
特許 5837525 基板処理方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2015年12月24日
特許 5837649 基板処理装置、異常処理部判定方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2015年12月24日
特許 5832397 基板処理装置及び基板処理方法 2015年12月16日

439 件中 1-15 件を表示

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