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東京エレクトロン株式会社

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  2019年 出願公開件数ランキング    第58位 660件 上昇2018年:第67位 588件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第58位 415件 下降2018年:第50位 503件)

(ランキング更新日:2020年2月14日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6617775 異物検出装置及び異物検出方法 2019年12月11日
特許 6614933 基板載置機構および基板処理装置 2019年12月 4日
特許 6615009 金属汚染防止方法及び金属汚染防止装置、並びにこれらを用いた基板処理方法及び基板処理装置 2019年12月 4日
特許 6615069 懸垂型インジェクタの支持構造及びこれを用いた基板処理装置 2019年12月 4日
特許 6615153 基板処理装置、基板載置機構、および基板処理方法 2019年12月 4日
特許 6615698 搬送装置および搬送方法、ならびに検査システム 2019年12月 4日
特許 6616181 接合装置 2019年12月 4日
特許 6617050 基板撮像装置 2019年12月 4日
特許 6610285 基板処理装置及び基板処理システム並びに基板処理方法 2019年11月27日
特許 6610812 半導体装置の製造方法、真空処理装置及び基板処理装置 2019年11月27日
特許 6611565 洗浄装置、剥離システム、洗浄方法、剥離方法、プログラム、および情報記憶媒体 2019年11月27日
特許 6611652 基板処理装置の管理方法、及び基板処理システム 2019年11月27日
特許 6611666 載置台システム、基板処理装置及び温度制御方法 2019年11月27日
特許 6611893 基板液処理装置 2019年11月27日
特許 6613207 被処理体をエッチングする方法 2019年11月27日

418 件中 16-30 件を表示

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  2. 6617775 6614933 6615009 6615069 6615153 6615698 6616181 6617050 6610285 6610812 6611565 6611652 6611666 6611893 6613207

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