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東京エレクトロン株式会社

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  2016年 出願公開件数ランキング    第61位 616件 下降2015年:第56位 677件)

  2016年 特許取得件数ランキング    第49位 561件 上昇2015年:第51位 433件)

(ランキング更新日:2020年5月27日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6042160 成膜方法及び成膜装置 2016年12月14日
特許 6042415 半導体デバイスの製造方法 2016年12月14日
特許 6042498 基板の高精度エッチング方法 2016年12月14日
特許 6042760 プローブ装置 2016年12月14日
特許 6042761 プローブ装置 2016年12月14日
特許 6043046 エッチングガスの供給方法及びエッチング装置 2016年12月14日
特許 6043600 基板処理装置及び基板処理方法 2016年12月14日
特許 6044371 液処理方法、液処理装置及び記憶媒体 2016年12月14日
特許 6044373 基板搬送装置 2016年12月14日
特許 6044428 基板処理方法、基板処理装置及び記憶媒体 2016年12月14日
特許 6045482 表面処理装置、表面処理方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2016年12月14日
特許 6045485 基板処理装置 2016年12月14日
特許 6045504 側壁像転写ピッチダブリング及びインライン限界寸法スリミング 2016年12月14日
特許 6045646 プラズマエッチング方法 2016年12月14日
特許 6045746 誘導自己組織化ケモエピタキシ用途において有機フィルムを除去するためのトラック処理 2016年12月14日

572 件中 31-45 件を表示

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6042160 6042415 6042498 6042760 6042761 6043046 6043600 6044371 6044373 6044428 6045482 6045485 6045504 6045646 6045746

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