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東京エレクトロン株式会社

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  2019年 出願公開件数ランキング    第58位 660件 上昇2018年:第67位 588件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第58位 415件 下降2018年:第50位 503件)

(ランキング更新日:2020年9月17日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6607795 基板処理装置 2019年11月20日
特許 6607820 フィルタ立ち上げ装置、処理液供給装置、治具ユニット、フィルタの立ち上げ方法 2019年11月20日
特許 6607827 基板処理方法及び硼素添加珪素の除去方法 2019年11月20日
特許 6608026 タングステン膜の成膜方法および成膜装置 2019年11月20日
特許 6608332 成膜装置 2019年11月20日
特許 6608507 基板処理方法、基板処理装置及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 2019年11月20日
特許 6608515 基板液処理方法及び基板液処理装置 2019年11月20日
特許 6604738 プラズマエッチング方法、パターン形成方法及びクリーニング方法 2019年11月13日
特許 6604833 プラズマエッチング方法 2019年11月13日
特許 6604911 エッチング処理方法 2019年11月13日
特許 6605061 載置台構造及び処理装置 2019年11月13日
特許 6605394 基板液処理装置、タンク洗浄方法及び記憶媒体 2019年11月13日
特許 6606464 エッチング方法 2019年11月13日
特許 6606609 被処理体を処理する方法 2019年11月13日
特許 6600922 液体を用いて基板に対するチップ部品のアライメントを行う方法 2019年11月 6日

418 件中 31-45 件を表示

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6607795 6607820 6607827 6608026 6608332 6608507 6608515 6604738 6604833 6604911 6605061 6605394 6606464 6606609 6600922

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