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東京エレクトロン株式会社

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  2015年 出願公開件数ランキング    第56位 677件 上昇2014年:第58位 686件)

  2015年 特許取得件数ランキング    第51位 433件 下降2014年:第48位 694件)

(ランキング更新日:2020年7月9日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 5804978 プラズマエッチング方法及びコンピュータ記録媒体 2015年11月 4日
特許 5805227 プラズマ処理装置 2015年11月 4日
特許 5805498 温度計測システム、基板処理装置及び温度計測方法 2015年11月 4日
特許 5800532 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2015年10月28日
特許 5800547 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2015年10月28日
特許 5800937 プラズマ処理装置 2015年10月28日
特許 5801676 半導体装置の製造方法 2015年10月28日
特許 5801780 基板処理方法、接触角制御装置、および基板処理用記録媒体 2015年10月28日
特許 5802323 エッチング処理方法 2015年10月28日
特許 5802691 基板処理装置、シミュレーション装置、プログラムおよびシミュレーション方法 2015年10月28日
特許 5797167 接合装置、接合システム、接合方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2015年10月21日
特許 5797176 スペーサ、スペーサの搬送方法、処理方法、及び、処理装置 2015年10月21日
特許 5797532 有機溶剤を含有する現像液を用いた現像処理方法及び現像処理装置 2015年10月21日
特許 5797595 成膜装置のパーツ保護方法および成膜方法 2015年10月21日
特許 5797913 生産効率化装置、生産効率化方法、コンピュータプログラム 2015年10月21日

439 件中 76-90 件を表示

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5804978 5805227 5805498 5800532 5800547 5800937 5801676 5801780 5802323 5802691 5797167 5797176 5797532 5797595 5797913

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