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東京エレクトロン株式会社

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  2016年 出願公開件数ランキング    第61位 616件 下降2015年:第56位 677件)

  2016年 特許取得件数ランキング    第49位 561件 上昇2015年:第51位 433件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6030859 基板処理装置 2016年11月24日
特許 6030886 プラズマエッチング方法及びプラズマエッチング装置 2016年11月24日
特許 6030994 プラズマエッチング装置及びプラズマエッチング方法 2016年11月24日
特許 6031238 ウエハ検査用インターフェース及びウエハ検査装置 2016年11月24日
特許 6031292 プローブカードへの基板当接方法 2016年11月24日
特許 6032189 塗布膜形成装置、塗布膜形成方法、記憶媒体 2016年11月24日
特許 6032190 処理液供給装置、処理液供給方法及び記憶媒体 2016年11月24日
特許 6024433 基板処理装置、基板処理システム及び搬送容器の異常検出方法 2016年11月16日
特許 6024484 成膜方法及び成膜装置 2016年11月16日
特許 6025735 マイクロ波プラズマを用いる誘電膜堆積方法 2016年11月16日
特許 6025759 剥離システム 2016年11月16日
特許 6026163 洗浄装置、洗浄方法および記憶媒体 2016年11月16日
特許 6026241 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 2016年11月16日
特許 6026351 成膜装置のクリーニング方法および成膜装置 2016年11月16日
特許 6026362 基板処理システム、基板処理システムの制御方法、及び記憶媒体 2016年11月16日

572 件中 76-90 件を表示

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