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東京エレクトロン株式会社

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  2015年 出願公開件数ランキング    第56位 677件 上昇2014年:第58位 686件)

  2015年 特許取得件数ランキング    第51位 433件 下降2014年:第48位 694件)

(ランキング更新日:2020年7月9日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 5798677 基板処理装置及び基板処理方法 2015年10月21日
特許 5798766 ボルトの緩み防止装置ならびにその取付方法および取付治具 2015年10月21日
特許 5792438 成膜装置及び成膜方法 2015年10月14日
特許 5792492 温調機構、プラズマ処理装置及び温調制御方法 2015年10月14日
特許 5792563 プラズマエッチング方法及びプラズマエッチング装置 2015年10月14日
特許 5793398 シード層の形成方法及びシリコン含有薄膜の成膜方法 2015年10月14日
特許 5793468 熱処理装置、熱処理板の冷却方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2015年10月14日
特許 5793527 搬送装置制御システム及び搬送装置のアクセス位置を調整する方法 2015年10月14日
特許 5794194 基板処理装置 2015年10月14日
特許 5794949 シリコン膜の形成方法およびその形成装置 2015年10月14日
特許 5795396 液処理装置 2015年10月14日
特許 5788627 カーボンナノチューブ成長方法 2015年10月 7日
特許 5788785 Cu配線の形成方法および成膜システム 2015年10月 7日
特許 5789036 プラズマエッチング装置及びプラズマエッチング方法 2015年10月 7日
特許 5789206 ウエハ検査用インターフェース及びウエハ検査装置 2015年10月 7日

439 件中 91-105 件を表示

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