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東京エレクトロン株式会社

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  2017年 出願公開件数ランキング    第83位 585件 下降2016年:第61位 616件)

  2017年 特許取得件数ランキング    第66位 431件 下降2016年:第49位 561件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6133832 レシピID管理サーバ、レシピID管理システム、および端末装置 2017年 5月24日
特許 6134172 磁気アニール装置 2017年 5月24日
特許 6134173 磁気アニール装置 2017年 5月24日
特許 6134174 磁気アニール装置 2017年 5月24日
特許 6131178 ロール状体の収容容器、基材処理システム、基材処理方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2017年 5月17日
特許 6123208 成膜装置 2017年 5月10日
特許 6123629 薬液容器交換装置及び基板処理装置 2017年 5月10日
特許 6123688 成膜装置 2017年 5月10日
特許 6123880 液処理装置 2017年 5月10日
特許 6125449 基板液処理装置及び基板液処理方法 2017年 5月10日
特許 6126475 基板処理装置 2017年 5月10日
特許 6126905 プラズマ処理装置 2017年 5月10日
特許 6120527 プラズマ処理方法 2017年 4月26日
特許 6120748 剥離装置、剥離システム、剥離方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2017年 4月26日
特許 6120749 接合方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体、接合装置及び接合システム 2017年 4月26日

440 件中 256-270 件を表示

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6133832 6134172 6134173 6134174 6131178 6123208 6123629 6123688 6123880 6125449 6126475 6126905 6120527 6120748 6120749

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