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■ 2017年 出願公開件数ランキング 第83位 585件
(2016年:第61位 616件)
■ 2017年 特許取得件数ランキング 第66位 431件
(2016年:第49位 561件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6104753 | 剥離装置、剥離システムおよび剥離方法 | 2017年 3月29日 | |
特許 6104786 | 基板処理方法および基板処理装置 | 2017年 3月29日 | |
特許 6104836 | 分離再生装置および基板処理装置 | 2017年 3月29日 | |
特許 6105035 | 接合装置、接合システムおよび接合方法 | 2017年 3月29日 | |
特許 6105436 | 基板処理システム | 2017年 3月29日 | |
特許 6099347 | ウエハ取り付け方法及びウエハ検査装置 | 2017年 3月22日 | |
特許 6099945 | 蓋開閉機構、遮蔽機構及び容器の内部パージ方法 | 2017年 3月22日 | |
特許 6099995 | 試験装置 | 2017年 3月22日 | |
特許 6100147 | めっきの前処理方法及び記憶媒体 | 2017年 3月22日 | |
特許 6100564 | 基板処理装置及び載置台 | 2017年 3月22日 | |
特許 6100672 | 温度制御機構、温度制御方法及び基板処理装置 | 2017年 3月22日 | |
特許 6101083 | 成膜方法及び成膜装置 | 2017年 3月22日 | |
特許 6101228 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2017年 3月22日 | |
特許 6101467 | 成膜方法及び成膜装置 | 2017年 3月22日 | |
特許 6094148 | 基板処理装置 | 2017年 3月15日 |
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6104753 6104786 6104836 6105035 6105436 6099347 6099945 6099995 6100147 6100564 6100672 6101083 6101228 6101467 6094148
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