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東京エレクトロン株式会社
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■ 2017年 出願公開件数ランキング 第83位 585件
（
2016年：第61位 616件）
■ 2017年 特許取得件数ランキング 第66位 431件
（2016年：第49位 561件）
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東京エレクトロン株式会社の商標一覧| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 6062491 | 上部誘電石英板及びスロットアンテナの基本概念 | 2017年 1月18日 | |
| 特許 6063181 | プラズマ処理方法、及びプラズマ処理装置 | 2017年 1月18日 | |
| 特許 6063264 | 被処理基体を処理する方法、及びプラズマ処理装置 | 2017年 1月18日 | |
| 特許 6063716 | 基板処理装置及び基板搬送方法 | 2017年 1月18日 | |
| 特許 6063741 | プラズマ処理容器及びプラズマ処理装置 | 2017年 1月18日 | |
| 特許 6063776 | 基板搬送経路の決定方法、基板搬送装置、基板処理装置及びプログラム | 2017年 1月18日 | |
| 特許 6063803 | 真空装置及びバルブ制御方法 | 2017年 1月18日 | |
| 特許 6063872 | ツール操作パラメータ及び材料測定と分光情報を関連付けることによるツール性能の改良 | 2017年 1月18日 | |
| 特許 6064015 | 剥離装置、剥離システムおよび剥離方法 | 2017年 1月18日 | |
| 特許 6056403 | 成膜装置 | 2017年 1月11日 | |
| 特許 6056673 | ガス処理装置 | 2017年 1月11日 | |
| 特許 6058360 | 基板受渡機構、基板搬送装置及び基板受渡方法 | 2017年 1月11日 | |
| 特許 6059048 | プラズマエッチング方法 | 2017年 1月11日 | |
| 特許 6059085 | トレンチを充填する方法及び処理装置 | 2017年 1月11日 | |
| 特許 6059087 | 液処理装置、液処理方法および記憶媒体 | 2017年 1月11日 |
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6062491 6063181 6063264 6063716 6063741 6063776 6063803 6063872 6064015 6056403 6056673 6058360 6059048 6059085 6059087
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