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東京エレクトロン株式会社

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  2019年 出願公開件数ランキング    第58位 660件 上昇2018年:第67位 588件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第58位 415件 下降2018年:第50位 503件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2019-145792 基板への周期的オルガノシリケートまたは自己組織化モノレイヤのスピンオンコーティングのためのシステムおよび方法 2019年 8月29日
特開 2019-145821 搬送装置、その制御方法及び基板処理システム 2019年 8月29日
特表 2019-523553 三次元半導体デバイス及び製造方法 2019年 8月22日
特開 2019-137895 成膜システム及び基板上に膜を形成する方法 2019年 8月22日
特開 2019-138335 断熱配管システムおよび処理システム 2019年 8月22日
特開 2019-140238 プラズマ処理システムおよびプラズマ処理方法 2019年 8月22日
特開 2019-140270 冷却システム 2019年 8月22日
特開 2019-140275 基板搬送装置および基板処理システム 2019年 8月22日
特開 2019-140339 基板処理装置、流量制御方法及び流量制御プログラム 2019年 8月22日
特開 2019-140340 液処理装置及び液膜状態判定方法 2019年 8月22日
特開 2019-140357 被処理体の載置装置及び処理装置 2019年 8月22日
特開 2019-140379 基板処理装置 2019年 8月22日
特表 2019-522906 水素プラズマを用いたシリコン抽出方法 2019年 8月15日
特開 2019-135330 めっき処理方法及びめっき処理部品並びにめっき処理システム 2019年 8月15日
特開 2019-135737 昇降機構、載置台及びプラズマ処理装置 2019年 8月15日

665 件中 271-285 件を表示

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2019-145792 2019-145821 2019-523553 2019-137895 2019-138335 2019-140238 2019-140270 2019-140275 2019-140339 2019-140340 2019-140357 2019-140379 2019-522906 2019-135330 2019-135737

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