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東京エレクトロン株式会社

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  2019年 出願公開件数ランキング    第58位 660件 上昇2018年:第67位 588件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第58位 415件 下降2018年:第50位 503件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6504996 塗布膜形成方法、塗布膜形成装置、及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 2019年 4月24日
特許 6505001 ウエハボート支持台及びこれを用いた熱処理装置 2019年 4月24日
特許 6505253 基板洗浄装置 2019年 4月24日
特許 6506984 基板検出装置、基板検出方法及び基板処理システム 2019年 4月24日
特許 6501493 プラズマ処理装置 2019年 4月17日
特許 6501560 シリコン窒化物膜の成膜方法および成膜装置 2019年 4月17日
特許 6501576 シリコン膜の成膜方法および成膜装置 2019年 4月17日
特許 6501601 基板処理装置、基板処理方法及び基板処理プログラム 2019年 4月17日
特許 6501685 カップ洗浄用治具を用いてカップを洗浄する基板液処理装置並びにカップ洗浄方法 2019年 4月17日
特許 6501692 注意喚起情報提供システム 2019年 4月17日
特許 6501700 電解処理装置及び電解処理方法 2019年 4月17日
特許 6502160 被処理体を処理する方法 2019年 4月17日
特許 6502198 基板処理方法および記憶媒体 2019年 4月17日
特許 6502206 基板処理装置及び基板処理方法 2019年 4月17日
特許 6502232 フォーカスリング及びセンサチップ 2019年 4月17日

418 件中 286-300 件を表示

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6504996 6505001 6505253 6506984 6501493 6501560 6501576 6501601 6501685 6501692 6501700 6502160 6502198 6502206 6502232

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