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東京エレクトロン株式会社

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  2020年 特許取得件数ランキング    第54位 436件 上昇2019年:第58位 415件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6773188 塗布膜形成装置及び塗布膜形成システム 2020年10月21日
特許 6766897 搬送装置、搬送装置の異常検出方法及び記憶媒体 2020年10月14日
特許 6767232 基板処理装置の流量制御器によって出力されるガスの出力流量を求める方法 2020年10月14日
特許 6767257 基板処理装置及び基板処理方法 2020年10月14日
特許 6767302 成膜方法 2020年10月14日
特許 6767844 成膜装置及び成膜方法 2020年10月14日
特許 6767885 保護膜形成方法 2020年10月14日
特許 6768146 液供給装置および液供給方法 2020年10月14日
特許 6769127 プラズマ処理装置 2020年10月14日
特許 6769166 液処理装置及び液処理方法 2020年10月14日
特許 6769335 処理レシピの評価方法、記憶媒体、処理レシピ評価用の支援装置、及び液処理装置 2020年10月14日
特許 6764771 基板処理装置及び遮熱板 2020年10月 7日
特許 6765009 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 2020年10月 7日
特許 6765488 基板洗浄装置、基板洗浄方法および記憶媒体 2020年10月 7日
特許 6765878 基板液処理方法及び基板液処理装置 2020年10月 7日

443 件中 106-120 件を表示

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6773188 6766897 6767232 6767257 6767302 6767844 6767885 6768146 6769127 6769166 6769335 6764771 6765009 6765488 6765878

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