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■ 2020年 出願公開件数ランキング 第43位 773件
(
2019年:第58位 660件)
■ 2020年 特許取得件数ランキング 第54位 436件
(
2019年:第58位 415件)
(ランキング更新日:2025年10月31日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 6773188 | 塗布膜形成装置及び塗布膜形成システム | 2020年10月21日 | |
| 特許 6766897 | 搬送装置、搬送装置の異常検出方法及び記憶媒体 | 2020年10月14日 | |
| 特許 6767232 | 基板処理装置の流量制御器によって出力されるガスの出力流量を求める方法 | 2020年10月14日 | |
| 特許 6767257 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2020年10月14日 | |
| 特許 6767302 | 成膜方法 | 2020年10月14日 | |
| 特許 6767844 | 成膜装置及び成膜方法 | 2020年10月14日 | |
| 特許 6767885 | 保護膜形成方法 | 2020年10月14日 | |
| 特許 6768146 | 液供給装置および液供給方法 | 2020年10月14日 | |
| 特許 6769127 | プラズマ処理装置 | 2020年10月14日 | |
| 特許 6769166 | 液処理装置及び液処理方法 | 2020年10月14日 | |
| 特許 6769335 | 処理レシピの評価方法、記憶媒体、処理レシピ評価用の支援装置、及び液処理装置 | 2020年10月14日 | |
| 特許 6764771 | 基板処理装置及び遮熱板 | 2020年10月 7日 | |
| 特許 6765009 | 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 | 2020年10月 7日 | |
| 特許 6765488 | 基板洗浄装置、基板洗浄方法および記憶媒体 | 2020年10月 7日 | |
| 特許 6765878 | 基板液処理方法及び基板液処理装置 | 2020年10月 7日 |
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6773188 6766897 6767232 6767257 6767302 6767844 6767885 6768146 6769127 6769166 6769335 6764771 6765009 6765488 6765878
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11月14日(金) - 東京 千代田区
11月14日(金) -
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11月10日(月) - 東京 品川区
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