株式会社荏原の特許出願公開一覧 2014年

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公報番号	発明の名称	出願人	公報発行日
特開 2014-240609	真空ポンプシステム	株式会社荏原製作所	2014年12月25日
特開 2014-239012	検査装置	株式会社荏原製作所	2014年12月18日
特開 2014-239050	荷電粒子線による検査装置及びその検査装置を用いたデバイス製造方法	株式会社荏原製作所	2014年12月18日
特開 2014-237865	電解銅めっき装置	株式会社荏原製作所	2014年12月18日
特開 2014-236546	モータ、ポンプ	株式会社荏原製作所	2014年12月15日
特開 2014-234665	地下排水機場およびその運転方法	株式会社荏原製作所	2014年12月15日
特開 2014-233774	ロボットアーム制御装置、基板搬送装置、基板処理装置、ロボットアーム制御方法およびプログラム	株式会社荏原製作所	2014年12月15日
特開 2014-233117	潤滑油流出抑制装置、回転機械、潤滑油の流出抑制方法	株式会社荏原製作所	2014年12月11日
特開 2014-231822	除害機能付真空ポンプ	株式会社荏原製作所	2014年12月11日
特開 2014-231823	ポンプ装置	株式会社荏原製作所	2014年12月11日
特開 2014-229655	基板洗浄装置	株式会社荏原製作所	2014年12月 8日
特開 2014-228930	サーボ制御装置	株式会社荏原製作所	2014年12月 8日
特開 2014-229181	基板処理装置	株式会社荏原製作所	2014年12月 8日
特開 2014-227968	除害機能付真空ポンプ	株式会社荏原製作所	2014年12月 8日
特開 2014-225476	検出装置及び検査装置	株式会社荏原製作所	2014年12月 4日

204 件中 1-15 件を表示

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2014-240609 2014-239012 2014-239050 2014-237865 2014-236546 2014-234665 2014-233774 2014-233117 2014-231822 2014-231823 2014-229655 2014-228930 2014-229181 2014-227968 2014-225476

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