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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第306位 142件
(2012年:第220位 207件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第137位 291件
(2012年:第114位 356件)
(ランキング更新日:2021年3月4日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特表 2013-546186 | リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 | 2013年12月26日 | |
特開 2013-251580 | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 | 2013年12月12日 | |
特開 2013-247358 | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 | 2013年12月 9日 | |
特表 2013-543649 | インプリントリソグラフィのための検査方法及びそのための装置 | 2013年12月 5日 | |
特表 2013-543210 | リソグラフィ装置、EUV放射発生装置、およびデバイス製造方法 | 2013年11月28日 | |
特開 2013-232673 | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 | 2013年11月14日 | |
特表 2013-541434 | リソグラフィ方法及び装置 | 2013年11月14日 | |
特表 2013-541184 | インプリントリソグラフィ方法 | 2013年11月 7日 | |
特表 2013-541213 | リソグラフィ装置 | 2013年11月 7日 | |
特開 2013-225673 | リソグラフィ方法および装置 | 2013年10月31日 | |
特開 2013-214104 | リソグラフィ装置で使用するための調和レジストモデル及びデバイス製造方法 | 2013年10月17日 | |
特表 2013-538447 | インプリントリソグラフィ | 2013年10月10日 | |
特表 2013-538433 | リソグラフィ装置およびスペクトル純度フィルタ | 2013年10月10日 | |
特表 2013-537318 | リソグラフィシステム内のフレア効果の補正 | 2013年 9月30日 | |
特開 2013-190828 | モデルベースのリソグラフィ誘導レイアウト設計を実行するための方法 | 2013年 9月26日 |
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2013-546186 2013-251580 2013-247358 2013-543649 2013-543210 2013-232673 2013-541434 2013-541184 2013-541213 2013-225673 2013-214104 2013-538447 2013-538433 2013-537318 2013-190828
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