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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

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  2013年 出願公開件数ランキング    第306位 142件 下降2012年:第220位 207件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第137位 291件 下降2012年:第114位 356件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特表 2013-546186 リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 2013年12月26日
特開 2013-251580 リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 2013年12月12日
特開 2013-247358 リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 2013年12月 9日
特表 2013-543649 インプリントリソグラフィのための検査方法及びそのための装置 2013年12月 5日
特表 2013-543210 リソグラフィ装置、EUV放射発生装置、およびデバイス製造方法 2013年11月28日
特開 2013-232673 リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 2013年11月14日
特表 2013-541434 リソグラフィ方法及び装置 2013年11月14日
特表 2013-541184 インプリントリソグラフィ方法 2013年11月 7日
特表 2013-541213 リソグラフィ装置 2013年11月 7日
特開 2013-225673 リソグラフィ方法および装置 2013年10月31日
特開 2013-214104 リソグラフィ装置で使用するための調和レジストモデル及びデバイス製造方法 2013年10月17日
特表 2013-538447 インプリントリソグラフィ 2013年10月10日
特表 2013-538433 リソグラフィ装置およびスペクトル純度フィルタ 2013年10月10日
特表 2013-537318 リソグラフィシステム内のフレア効果の補正 2013年 9月30日
特開 2013-190828 モデルベースのリソグラフィ誘導レイアウト設計を実行するための方法 2013年 9月26日

142 件中 1-15 件を表示

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2013-546186 2013-251580 2013-247358 2013-543649 2013-543210 2013-232673 2013-541434 2013-541184 2013-541213 2013-225673 2013-214104 2013-538447 2013-538433 2013-537318 2013-190828

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