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■ 2014年 出願公開件数ランキング 第521位 66件
(2013年:第306位 142件)
■ 2014年 特許取得件数ランキング 第203位 208件
(2013年:第137位 291件)
(ランキング更新日:2021年3月4日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特開 2014-241425 | リトグラフ装置 | 2014年12月25日 | |
特開 2014-241411 | リソグラフィ装置用の光学素子マウント | 2014年12月25日 | |
特表 2014-534620 | チャック、リソグラフィ装置及びチャックを使用する方法 | 2014年12月18日 | |
特表 2014-534559 | 放射源 | 2014年12月18日 | |
特表 2014-534646 | リソグラフィ装置、デバイス製造方法およびコンピュータプログラム | 2014年12月18日 | |
特表 2014-533420 | 放射源デバイス、リソグラフィ装置、および、デバイス製造方法 | 2014年12月11日 | |
特開 2014-225669 | 基板ホルダ、リソグラフィ装置、デバイス製造方法、及び基板ホルダの製造方法 | 2014年12月 4日 | |
特表 2014-531704 | 放射源 | 2014年11月27日 | |
特表 2014-531705 | 放射源、リソグラフィ装置のための方法、およびデバイス製造方法 | 2014年11月27日 | |
特表 2014-531743 | 光ビームアラインメントのためのエネルギセンサ | 2014年11月27日 | |
特表 2014-531767 | 自己組織化可能な重合体のためのパターン付配向テンプレートを提供する方法 | 2014年11月27日 | |
特表 2014-531131 | リソグラフィ装置及び方法 | 2014年11月20日 | |
特表 2014-529896 | メトロロジ方法及び装置並びにデバイス製造方法 | 2014年11月13日 | |
特表 2014-529901 | リソグラフィ装置、リソグラフィ装置のセットアップ方法、及びデバイス製造方法 | 2014年11月13日 | |
特表 2014-529862 | 放射源及びリソグラフィ装置 | 2014年11月13日 |
66 件中 1-15 件を表示
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2014-241425 2014-241411 2014-534620 2014-534559 2014-534646 2014-533420 2014-225669 2014-531704 2014-531705 2014-531743 2014-531767 2014-531131 2014-529896 2014-529901 2014-529862
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3月9日(火) -
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3月10日(水) -
3月11日(木) -
3月11日(木) -
3月11日(木) -
3月12日(金) -
3月13日(土) -
3月9日(火) -
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