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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

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  2014年 出願公開件数ランキング    第521位 66件 下降2013年:第306位 142件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第203位 208件 下降2013年:第137位 291件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2014-241425 リトグラフ装置 2014年12月25日
特開 2014-241411 リソグラフィ装置用の光学素子マウント 2014年12月25日
特表 2014-534620 チャック、リソグラフィ装置及びチャックを使用する方法 2014年12月18日
特表 2014-534559 放射源 2014年12月18日
特表 2014-534646 リソグラフィ装置、デバイス製造方法およびコンピュータプログラム 2014年12月18日
特表 2014-533420 放射源デバイス、リソグラフィ装置、および、デバイス製造方法 2014年12月11日
特開 2014-225669 基板ホルダ、リソグラフィ装置、デバイス製造方法、及び基板ホルダの製造方法 2014年12月 4日
特表 2014-531704 放射源 2014年11月27日
特表 2014-531705 放射源、リソグラフィ装置のための方法、およびデバイス製造方法 2014年11月27日
特表 2014-531743 光ビームアラインメントのためのエネルギセンサ 2014年11月27日
特表 2014-531767 自己組織化可能な重合体のためのパターン付配向テンプレートを提供する方法 2014年11月27日
特表 2014-531131 リソグラフィ装置及び方法 2014年11月20日
特表 2014-529896 メトロロジ方法及び装置並びにデバイス製造方法 2014年11月13日
特表 2014-529901 リソグラフィ装置、リソグラフィ装置のセットアップ方法、及びデバイス製造方法 2014年11月13日
特表 2014-529862 放射源及びリソグラフィ装置 2014年11月13日

66 件中 1-15 件を表示

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2014-241425 2014-241411 2014-534620 2014-534559 2014-534646 2014-533420 2014-225669 2014-531704 2014-531705 2014-531743 2014-531767 2014-531131 2014-529896 2014-529901 2014-529862

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