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株式会社日立ハイテクノロジーズ

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  2011年 出願公開件数ランキング    第52位 689件 上昇2010年:第70位 624件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第98位 350件 下降2010年:第95位 307件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2011-247617 自動分析装置 2011年12月 8日
特開 2011-249664 表示基板モジュール組立装置及び組立方法 2011年12月 8日
特開 2011-249597 プラズマ処理装置および処理方法 2011年12月 8日
特開 2011-247635 生体試料の分析装置 2011年12月 8日
特開 2011-247924 光源ユニット、光源ユニットの光軸調整方法、プロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置の露光光照射方法、及び表示用パネル基板の製造方法 2011年12月 8日
特開 2011-249657 試料吸着保持装置および試料吸着判定方法 2011年12月 8日
特開 2011-248217 プロキシミティ露光装置、及びプロキシミティ露光装置のマスク搬送方法 2011年12月 8日
再表 2009-157182 半導体検査装置 2011年12月 8日
特開 2011-248207 プロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置のアライメント方法、及びパネル基板の製造方法 2011年12月 8日
特開 2011-249777 表示パネル組立装置 2011年12月 8日
特開 2011-247603 荷電粒子線を用いた試料検査方法および検査装置ならびに欠陥レビュー装置 2011年12月 8日
特開 2011-243454 電子顕微鏡、試料ステージおよび試料ステージの制御方法 2011年12月 1日
特開 2011-242563 露光装置、露光装置のランプ位置調整方法、及び表示用パネル基板の製造方法 2011年12月 1日
特開 2011-243470 電子顕微鏡、および電子顕微鏡の光軸調整方法 2011年12月 1日
特開 2011-243997 荷電粒子線装置 2011年12月 1日

689 件中 31-45 件を表示

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2011-247617 2011-249664 2011-249597 2011-247635 2011-247924 2011-249657 2011-248217 2009-157182 2011-248207 2011-249777 2011-247603 2011-243454 2011-242563 2011-243470 2011-243997

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