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■ 2011年 出願公開件数ランキング 第52位 689件
(2010年:第70位 624件)
■ 2011年 特許取得件数ランキング 第98位 350件
(2010年:第95位 307件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 4695857 | 半導体検査方法および半導体検査装置 | 2011年 6月 8日 | |
特許 4695362 | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 | 2011年 6月 8日 | |
特許 4694249 | 真空処理装置及び試料の真空処理方法 | 2011年 6月 8日 | |
特許 4693581 | 基板検査装置及び基板検査方法 | 2011年 6月 1日 | |
特許 4691453 | 欠陥表示方法およびその装置 | 2011年 6月 1日 | |
特許 4690641 | 質量分析計 | 2011年 6月 1日 | |
特許 4690251 | 電気泳動装置 | 2011年 6月 1日 | |
特許 4693347 | 露光用シャッター、露光装置、露光方法、及び基板製造方法 | 2011年 6月 1日 | |
特許 4691610 | 電子顕微鏡 | 2011年 6月 1日 | |
特許 4691529 | 荷電粒子線装置、及び試料加工観察方法 | 2011年 6月 1日 | |
特許 4690947 | 異常対処方法、異常対処装置および荷電粒子線装置 | 2011年 6月 1日 | |
特許 4690837 | 試料載置電極の温度制御方法及び温度制御装置 | 2011年 6月 1日 | |
特許 4686385 | 走査電子顕微鏡 | 2011年 5月25日 | |
特許 4685599 | 回路パターンの検査装置 | 2011年 5月18日 | 共同出願 |
特許 4685637 | モノクロメータを備えた走査電子顕微鏡 | 2011年 5月18日 |
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4695857 4695362 4694249 4693581 4691453 4690641 4690251 4693347 4691610 4691529 4690947 4690837 4686385 4685599 4685637
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