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株式会社日立ハイテクノロジーズ

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  2014年 出願公開件数ランキング    第59位 659件 変わらず2013年:第59位 716件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第54位 625件 下降2013年:第51位 717件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5544176 検査装置および検査方法 2014年 7月 9日
特許 5542749 試料の作製装置,作製方法、及びそれを用いた荷電粒子線装置 2014年 7月 9日
特許 5542650 校正用標準部材およびその作製方法並びにそれを用いた走査電子顕微鏡 2014年 7月 9日
特許 5537282 欠陥検査装置および欠陥検査方法 2014年 7月 2日
特許 5537058 試料作製装置、及び試料作製装置における制御方法 2014年 7月 2日
特許 5536727 分注方法及び分注装置 2014年 7月 2日
特許 5535047 自動分析装置 2014年 7月 2日
特許 5537466 露光装置 2014年 7月 2日
特許 5537063 プロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置のギャップ制御方法、及び表示用パネル基板の製造方法 2014年 7月 2日
特許 5537386 荷電粒子線装置 2014年 7月 2日
特許 5537050 集束イオンビーム装置 2014年 7月 2日
特許 5537737 荷電粒子線装置 2014年 7月 2日
特許 5537653 イオンビーム装置およびイオンビーム加工方法 2014年 7月 2日
特許 5537488 荷電粒子顕微鏡装置および画像撮像方法 2014年 7月 2日
特許 5537460 荷電粒子線顕微鏡及びそれを用いた計測画像の補正方法 2014年 7月 2日

625 件中 196-210 件を表示

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5544176 5542749 5542650 5537282 5537058 5536727 5535047 5537466 5537063 5537386 5537050 5537737 5537653 5537488 5537460

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