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株式会社日立ハイテクノロジーズ

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  2011年 出願公開件数ランキング    第52位 689件 上昇2010年:第70位 624件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第98位 350件 下降2010年:第95位 307件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 4806214 電子捕獲解離反応装置 2011年11月 2日
特許 4806598 真空処理装置 2011年11月 2日
特許 4804824 プラズマ処理装置 2011年11月 2日
特許 4801697 画像形成方法,画像形成装置、及びコンピュータプログラム 2011年10月26日
特許 4801007 電気泳動装置及びそれに用いられるポンプ機構 2011年10月26日
特許 4801451 走査電子顕微鏡等に用いる電子銃の制御装置及び制御方法 2011年10月26日
特許 4801542 自動分析装置 2011年10月26日
特許 4801795 パターン形状評価方法及び電子顕微鏡 2011年10月26日
特許 4801522 半導体製造装置及びプラズマ処理方法 2011年10月26日
特許 4801518 荷電粒子線顕微方法および荷電粒子線装置 2011年10月26日
特許 4801427 パターン形状評価方法 2011年10月26日
特許 4801545 欠陥検査解析システム、欠陥検査解析方法及びこれに用いる管理コンピュータ 2011年10月26日
特許 4799324 露光装置、露光方法、及び表示用パネル基板の製造方法 2011年10月26日
特許 4800044 プラズマ処理装置および処理方法 2011年10月26日
特許 4799172 露光装置、露光方法、及び表示用パネル基板の製造方法 2011年10月26日

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4806214 4806598 4804824 4801697 4801007 4801451 4801542 4801795 4801522 4801518 4801427 4801545 4799324 4800044 4799172

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