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株式会社日立ハイテクノロジーズ

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  2011年 出願公開件数ランキング    第52位 689件 上昇2010年:第70位 624件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第98位 350件 下降2010年:第95位 307件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 4799324 露光装置、露光方法、及び表示用パネル基板の製造方法 2011年10月26日
特許 4801007 電気泳動装置及びそれに用いられるポンプ機構 2011年10月26日
特許 4800432 プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 2011年10月26日
特許 4797005 表面検査方法及び表面検査装置 2011年10月19日
特許 4794471 露光装置、及び露光装置の負圧室の天板を交換する方法 2011年10月19日
特許 4795883 パターン検査・計測装置 2011年10月19日
特許 4795308 内部構造観察用及び電子顕微鏡用試料ホルダー 2011年10月19日
特許 4795146 電子ビーム装置,プローブ制御方法及びプログラム 2011年10月19日
特許 4795755 半導体基板の製造装置 2011年10月19日 共同出願
特許 4795847 電子レンズ及びそれを用いた荷電粒子線装置 2011年10月19日
特許 4791141 電子線式寸法計測装置及びそれを用いた寸法計測方法 2011年10月12日
特許 4791333 パターン寸法計測方法及び走査型透過荷電粒子顕微鏡 2011年10月12日
特許 4789651 シミュレーション装置、シミュレーションプログラム及びシミュレーション方法 2011年10月12日
特許 4791267 欠陥検査システム 2011年10月12日
特許 4791840 荷電粒子線装置、走査電子顕微鏡、および試料検査方法 2011年10月12日

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4799324 4801007 4800432 4797005 4794471 4795883 4795308 4795146 4795755 4795847 4791141 4791333 4789651 4791267 4791840

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