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株式会社荏原製作所

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  2014年 出願公開件数ランキング    第223位 204件 上昇2013年:第358位 118件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第333位 116件 下降2013年:第276位 144件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5528826 研磨装置及び方法、並びに、ドレッシングユニットの性能試験方法 2014年 6月25日
特許 5528522 マンホールポンプ施設 2014年 6月25日
特許 5524691 複合型サイレンサ、及びドライ真空ポンプ装置 2014年 6月18日
特許 5525590 研磨装置および研磨方法 2014年 6月18日
特許 5519256 裏面が研削された基板を研磨する方法および装置 2014年 6月11日
特許 5517741 基板搬送方法 2014年 6月11日
特許 5518121 基板処理装置および基板処理方法 2014年 6月11日
特許 5513821 渦電流センサ、研磨装置、めっき装置、研磨方法、めっき方法 2014年 6月 4日
特許 5511399 ポンプ用羽根車及びそれを備えた水中ポンプ、及びポンプ用羽根車のバランス調整方法 2014年 6月 4日
特許 5514482 給水装置及び給水システム 2014年 6月 4日
特許 5511190 基板処理装置の運転方法 2014年 6月 4日
特許 5513795 研磨方法および装置 2014年 6月 4日
特許 5511600 研磨装置 2014年 6月 4日
特許 5503323 基板乾燥装置 2014年 5月28日
特許 5504147 電気めっき方法 2014年 5月28日

116 件中 46-60 件を表示

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5528826 5528522 5524691 5525590 5519256 5517741 5518121 5513821 5511399 5514482 5511190 5513795 5511600 5503323 5504147

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