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株式会社ニューフレアテクノロジー

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  2012年 出願公開件数ランキング    第343位 120件 上昇2011年:第376位 103件)

  2012年 特許取得件数ランキング    第464位 75件 上昇2011年:第886位 31件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2012-33697 荷電粒子ビーム描画装置および荷電粒子ビーム描画方法 2012年 2月16日
特開 2012-28737 半導体製造装置、半導体製造方法及び半導体製造装置のクリーニング方法 2012年 2月 9日
特開 2012-28385 半導体製造装置およびサセプタのクリーニング方法 2012年 2月 9日
特開 2012-23279 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2012年 2月 2日
特開 2012-18790 電子銃の駆動方法、電子ビーム描画装置および電子ビーム描画方法 2012年 1月26日
特開 2012-15336 偏向アンプの評価方法および荷電粒子ビーム描画装置 2012年 1月19日
特開 2012-15331 荷電粒子ビーム描画装置およびアースピン 2012年 1月19日
特開 2012-15249 荷電粒子ビーム描画装置およびその制御方法 2012年 1月19日
特開 2012-15246 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2012年 1月19日
特開 2012-15245 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2012年 1月19日
特開 2012-15244 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2012年 1月19日
特開 2012-2731 検査装置および検査方法 2012年 1月 5日
特開 2012-4415 荷電粒子ビーム描画装置 2012年 1月 5日
特開 2012-4413 荷電粒子ビーム描画装置および方法 2012年 1月 5日
特開 2012-4241 荷電粒子ビーム描画装置 2012年 1月 5日

120 件中 106-120 件を表示

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2012-33697 2012-28737 2012-28385 2012-23279 2012-18790 2012-15336 2012-15331 2012-15249 2012-15246 2012-15245 2012-15244 2012-2731 2012-4415 2012-4413 2012-4241

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