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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第410位 100件 (2012年:第343位 120件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第439位 82件 (2012年:第464位 75件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5123754 | 描画装置及び荷電粒子ビームの焦点合わせ方法 | 2013年 1月23日 | |
特許 5123561 | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | 2013年 1月23日 | |
特許 5123730 | 偏向アンプのセトリング時間検査方法及び偏向アンプの故障判定方法 | 2013年 1月23日 | |
特許 5121524 | ビーム照射位置誤差の検出方法およびビーム照射位置誤差の補正方法 | 2013年 1月16日 | |
特許 5121291 | データ転送システム | 2013年 1月16日 | |
特許 5121642 | マスク検査装置及びマスク検査方法 | 2013年 1月16日 | |
特許 5111798 | 描画装置、及び描画装置における描画方法 | 2013年 1月 9日 |
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5123754 5123561 5123730 5121524 5121291 5121642 5111798
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