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キヤノンアネルバ株式会社

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  2013年 特許取得件数ランキング    第654位 50件 上昇2012年:第926位 32件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5231573 スパッタ装置及び磁気記憶媒体の製造方法 2013年 7月10日
特許 5226809 成膜装置およびそれを用いた基板の製造方法 2013年 7月 3日
特許 5220147 冷却装置および加熱装置 2013年 6月26日
特許 5216918 イオンビーム発生装置、基板処理装置及び電子デバイスの製造方法 2013年 6月19日
特許 5209791 半導体装置およびその製造方法 2013年 6月12日
特許 5209740 ガス供給装置及び真空処理装置 2013年 6月12日
特許 5209717 スパッタリング装置及びその制御用プログラムを記録した記録媒体 2013年 6月12日
特許 5209482 酸化処理方法 2013年 6月12日
特許 5192492 真空処理装置、当該真空処理装置を用いた画像表示装置の製造方法及び当該真空処理装置により製造される電子装置 2013年 5月 8日
特許 5192549 スパッタリング装置及びスパッタリング方法 2013年 5月 8日
特許 5190316 高周波スパッタリング装置 2013年 4月24日
特許 5189609 プラズマ処理装置 2013年 4月24日
特許 5190451 炭化ケイ素基板を有する半導体デバイスのアニール方法 2013年 4月24日
特許 5175388 質量分析用イオン検出装置、イオン検出方法、およびイオン検出装置の製造方法 2013年 4月 3日
特許 5174170 磁気記録媒体の製造方法及び磁気記録媒体の製造装置 2013年 4月 3日

50 件中 31-45 件を表示

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5231573 5226809 5220147 5216918 5209791 5209740 5209717 5209482 5192492 5192549 5190316 5189609 5190451 5175388 5174170

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