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キヤノンアネルバ株式会社

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  2011年 出願公開件数ランキング    第260位 156件 上昇2010年:第335位 133件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第403位 82件 下降2010年:第188位 176件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 4652841 真空処理装置における水素原子発生源及び水素原子輸送方法 2011年 3月16日
特許 4650919 CVD装置 2011年 3月16日
特許 4646066 真空処理装置 2011年 3月 9日
特許 4642156 真空排気システム、真空排気システムの運転方法、冷凍機、冷凍機の運転方法、基板処理装置、電子デバイスの製造方法 2011年 3月 2日
特許 4632590 基板搬送システム及び基板処理装置 2011年 2月16日
特許 4634581 スパッタリング方法、表面処理方法、スパッタリング装置及び表面処理装置 2011年 2月16日
特許 4634592 薄膜成膜液体原料用気化器 2011年 2月16日
特許 4634572 銅薄膜形成方法 2011年 2月16日
特許 4627916 イオン化装置 2011年 2月 9日
特許 4627835 スパッタリング装置及び薄膜形成方法 2011年 2月 9日
特許 4623837 マグネトロンスパッタリング装置 2011年 2月 2日
特許 4623479 マルチチャンバシステムのチャンバグループ化制御システム 2011年 2月 2日
特許 4617364 基板加熱装置及び処理方法 2011年 1月26日
特許 4620879 基板温度制御機構及び真空処理装置 2011年 1月26日
特許 4619450 真空薄膜形成加工装置 2011年 1月26日

82 件中 61-75 件を表示

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4652841 4650919 4646066 4642156 4632590 4634581 4634592 4634572 4627916 4627835 4623837 4623479 4617364 4620879 4619450

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