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芝浦メカトロニクス株式会社

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  2014年 出願公開件数ランキング    第633位 50件 下降2013年:第512位 75件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第479位 74件 下降2013年:第361位 106件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2014-130904 貼合装置および貼合処理方法 2014年 7月10日
特開 2014-130907 プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 2014年 7月10日
特開 2014-101231 基板処理装置 2014年 6月 5日
特開 2014-103157 導電性バンプの形成方法および導電性バンプの形成装置 2014年 6月 5日
特開 2014-79743 液体処理装置及び液体処理方法 2014年 5月 8日 共同出願
特開 2014-72298 基板処理装置及び基板処理方法 2014年 4月21日
特開 2014-69981 基板加工装置及び基板加工方法 2014年 4月21日
特開 2014-65647 ガラス基板加工装置及びガラス基板加工方法 2014年 4月17日
特開 2014-65646 ガラス基板加工装置及びガラス基板加工方法 2014年 4月17日
特開 2014-56895 反射型マスクの製造方法、および反射型マスクの製造装置 2014年 3月27日 共同出願
特開 2014-53592 洗浄液生成装置、洗浄液生成方法、基板洗浄装置及び基板洗浄方法 2014年 3月20日
特開 2014-40298 基板処理装置 2014年 3月 6日
特開 2014-41897 基板処理装置 2014年 3月 6日
特開 2014-35912 導電膜の形成方法および導電膜の形成装置 2014年 2月24日
特開 2014-35280 塗布液塗布装置および重量測定方法 2014年 2月24日

50 件中 31-45 件を表示

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2014-130904 2014-130907 2014-101231 2014-103157 2014-79743 2014-72298 2014-69981 2014-65647 2014-65646 2014-56895 2014-53592 2014-40298 2014-41897 2014-35912 2014-35280

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