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東京エレクトロン株式会社

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  2013年 出願公開件数ランキング    第60位 712件 下降2012年:第53位 714件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第45位 796件 下降2012年:第37位 902件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2013-185760 熱処理装置 2013年 9月19日
特開 2013-187457 ウエハ検査用インターフェース及びウエハ検査装置 2013年 9月19日
特開 2013-187492 液処理装置 2013年 9月19日
特開 2013-187490 液処理装置 2013年 9月19日
特開 2013-186191 補助露光装置 2013年 9月19日
再表 2012-14881 基板処理装置および基板処理方法 2013年 9月12日
特開 2013-182972 基板の接合方法及び半導体装置 2013年 9月12日
特開 2013-183063 半導体装置の製造方法及びコンピュータ記録媒体 2013年 9月12日
特開 2013-183140 液処理装置、液処理方法及び記憶媒体 2013年 9月12日
特開 2013-181231 ゲルマニウム薄膜の成膜方法 2013年 9月12日
特開 2013-182973 基板の接合方法及び半導体装置 2013年 9月12日
特開 2013-179252 基板処理ブラシ及び基板処理装置並びに基板処理方法 2013年 9月 9日
特開 2013-179354 基板処理装置及び基板処理方法 2013年 9月 9日
特開 2013-179329 針先位置検出装置及びプローブ装置 2013年 9月 9日
特開 2013-179287 基板収容容器のパージ方法 2013年 9月 9日

712 件中 181-195 件を表示

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2013-185760 2013-187457 2013-187492 2013-187490 2013-186191 2012-14881 2013-182972 2013-183063 2013-183140 2013-181231 2013-182973 2013-179252 2013-179354 2013-179329 2013-179287

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