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東京エレクトロン株式会社

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  2014年 出願公開件数ランキング    第58位 686件 上昇2013年:第60位 712件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第48位 694件 下降2013年:第45位 796件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2014-140030 液処理装置、液処理方法及び液処理用記憶媒体 2014年 7月31日
特開 2014-140029 液処理装置、液処理方法及び液処理用記憶媒体 2014年 7月31日
特開 2014-140011 液処理装置、液処理方法及び液処理用記憶媒体 2014年 7月31日
特開 2014-140010 液処理装置、液処理方法及び液処理用記憶媒体 2014年 7月31日
特開 2014-140001 液処理装置、液処理方法及び液処理用記憶媒体 2014年 7月31日
特開 2014-139989 接着方法、載置台及び基板処理装置 2014年 7月31日
特開 2014-140018 成膜方法 2014年 7月31日
特開 2014-139550 基板検査装置 2014年 7月31日
特開 2014-140085 基板洗浄システム、基板洗浄方法および記憶媒体 2014年 7月31日
特開 2014-140013 薄膜形成方法および薄膜形成装置 2014年 7月31日
特開 2014-140003 基板熱処理装置、基板熱処理方法及び基板熱処理用記録媒体 2014年 7月31日
特開 2014-137275 圧力測定器及びその圧力測定器を備える基板処理装置 2014年 7月28日
再表 2012-141203 検査装置、検査システム及び検査方法 2014年 7月28日
特開 2014-138118 貫通ヴィアの形成方法および電子製品の製造方法 2014年 7月28日
特開 2014-137911 プラズマ処理装置及びプラズマ処理装置の運転方法 2014年 7月28日

685 件中 241-255 件を表示

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2014-140030 2014-140029 2014-140011 2014-140010 2014-140001 2014-139989 2014-140018 2014-139550 2014-140085 2014-140013 2014-140003 2014-137275 2012-141203 2014-138118 2014-137911

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