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東京エレクトロン株式会社

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  2012年 出願公開件数ランキング    第53位 714件 上昇2011年:第62位 621件)

  2012年 特許取得件数ランキング    第37位 902件 上昇2011年:第41位 739件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2012-174891 パターン形成方法及び半導体装置の製造方法 2012年 9月10日
特開 2012-174854 半導体素子の製造方法 2012年 9月10日
特開 2012-174850 基板処理方法及び記憶媒体 2012年 9月10日
特開 2012-174716 被処理体の搬送方法及び被処理体処理装置 2012年 9月10日
特開 2012-169474 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 2012年 9月 6日
特開 2012-169367 熱処理装置及び熱処理方法 2012年 9月 6日
特開 2012-169307 成膜装置 2012年 9月 6日
特開 2012-166302 パターン形成方法及びパターン形成装置 2012年 9月 6日 共同出願
特開 2012-169572 基板洗浄装置 2012年 9月 6日
特開 2012-169590 Cu配線の形成方法およびCu膜の成膜方法、ならびに成膜システム 2012年 9月 6日
特開 2012-169553 基板処理装置 2012年 9月 6日
特開 2012-169552 冷却機構、処理室、処理室内部品及び冷却方法 2012年 9月 6日
特開 2012-169504 液処理装置及び液処理方法 2012年 9月 6日
特開 2012-169225 成膜装置 2012年 9月 6日
再表 2010-98088 光増感色素の色素吸着方法及び吸着装置、色素増感太陽電池の製造方法及び製造装置、並びに色素増感太陽電池 2012年 8月30日 共同出願

714 件中 271-285 件を表示

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2012-174891 2012-174854 2012-174850 2012-174716 2012-169474 2012-169367 2012-169307 2012-166302 2012-169572 2012-169590 2012-169553 2012-169552 2012-169504 2012-169225 2010-98088

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