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東京エレクトロン株式会社

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  2014年 出願公開件数ランキング    第58位 686件 上昇2013年:第60位 712件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第48位 694件 下降2013年:第45位 796件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2014-112664 エッチング処理方法及び基板処理装置 2014年 6月19日
特開 2014-112644 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2014年 6月19日
特開 2014-112638 基板冷却部材、基板処理装置及び基板処理方法 2014年 6月19日
特表 2014-514533 ライブラリベースで限界寸法(CD)を計測するための正確かつ高速なニューラルネットワークの訓練 2014年 6月19日 共同出願
特表 2014-514727 光学計測及びセンサ装置を用いるエッチングプロセス制御 2014年 6月19日 共同出願
特開 2014-110386 周縁部塗布装置、周縁部塗布方法及び周縁部塗布用記録媒体 2014年 6月12日
特開 2014-110378 成膜装置 2014年 6月12日
特開 2014-109436 基板の欠陥検査方法、基板の欠陥検査装置、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2014年 6月12日
特開 2014-110388 剥離装置、剥離システムおよび剥離方法 2014年 6月12日
特開 2014-110387 剥離装置、剥離システムおよび剥離方法 2014年 6月12日
特開 2014-110296 基板処理装置、基板処理方法および記憶媒体 2014年 6月12日
特開 2014-107488 高圧容器、基板処理装置及び高圧容器の製造方法 2014年 6月 9日
特開 2014-107412 搬送システム及び成膜装置 2014年 6月 9日
再表 2012-98871 真空処理装置 2014年 6月 9日
特開 2014-107344 成膜方法、その成膜方法のプログラム、そのプログラムを記録した記録媒体、及び、成膜装置 2014年 6月 9日

685 件中 331-345 件を表示

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2014-112664 2014-112644 2014-112638 2014-514533 2014-514727 2014-110386 2014-110378 2014-109436 2014-110388 2014-110387 2014-110296 2014-107488 2014-107412 2012-98871 2014-107344

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