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東京エレクトロン株式会社

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  2012年 出願公開件数ランキング    第53位 714件 上昇2011年:第62位 621件)

  2012年 特許取得件数ランキング    第37位 902件 上昇2011年:第41位 739件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2012-147011 処理装置 2012年 8月 2日
特開 2012-146951 基板処理方法及び基板処理装置 2012年 8月 2日
特開 2012-146862 基板処理装置 2012年 8月 2日
特開 2012-146854 基板処理装置 2012年 8月 2日
特開 2012-146852 電極製造装置、電極製造方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2012年 8月 2日
特開 2012-146850 電極製造装置、電極製造方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2012年 8月 2日
特開 2012-146849 電極製造装置、電極製造方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2012年 8月 2日
特開 2012-146848 電極製造装置、電極製造方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2012年 8月 2日
特開 2012-146756 剥離システム、剥離方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2012年 8月 2日
特開 2012-146743 基板処理装置 2012年 8月 2日
特開 2012-146742 フォーカスリング及び該フォーカスリングを備える基板処理装置 2012年 8月 2日
特開 2012-142583 塗布装置 2012年 7月26日
特開 2012-142420 液処理装置および液処理方法 2012年 7月26日
特開 2012-142325 貫通孔への円筒部材装着治具、装着方法及び円筒部材が装着された貫通孔を備えた基材 2012年 7月26日
特開 2012-142421 薄膜形成方法、薄膜形成装置及びプログラム 2012年 7月26日

714 件中 346-360 件を表示

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2012-147011 2012-146951 2012-146862 2012-146854 2012-146852 2012-146850 2012-146849 2012-146848 2012-146756 2012-146743 2012-146742 2012-142583 2012-142420 2012-142325 2012-142421

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