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東京エレクトロン株式会社

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東京エレクトロン株式会社の商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日	備考
特開 2013-80834	半導体装置の製造方法	2013年 5月 2日
特開 2013-77775	駆動装置及び基板処理システム	2013年 4月25日	共同出願
特開 2013-77715	誘導結合プラズマ用アンテナユニットおよび誘導結合プラズマ処理装置	2013年 4月25日
特開 2013-76113	ガス供給装置及び成膜装置	2013年 4月25日
特開 2013-77643	熱処理装置	2013年 4月25日
特開 2013-77053	基板処理装置、基板処理装置のアラーム管理方法および記憶媒体	2013年 4月25日
特開 2013-77846	液処理装置、液処理方法および記憶媒体	2013年 4月25日
特開 2013-77773	搬送装置	2013年 4月25日
特開 2013-77664	基板裏面洗浄方法及び基板裏面洗浄装置	2013年 4月25日
特開 2013-77610	基板処理装置	2013年 4月25日
特開 2013-77594	プラズマエッチング方法及び半導体装置の製造方法	2013年 4月25日
特開 2013-77441	マイクロ波放射機構、表面波プラズマ源および表面波プラズマ処理装置	2013年 4月25日
特開 2013-74220	堆積物除去方法	2013年 4月22日	共同出願
特開 2013-71083	パーティクル捕集装置及びパーティクルの捕集方法	2013年 4月22日
特開 2013-71022	洗浄装置	2013年 4月22日

712 件中 481-495 件を表示

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2013-80834 2013-77775 2013-77715 2013-76113 2013-77643 2013-77053 2013-77846 2013-77773 2013-77664 2013-77610 2013-77594 2013-77441 2013-74220 2013-71083 2013-71022

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