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東京エレクトロン株式会社

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  2014年 出願公開件数ランキング    第58位 686件 上昇2013年:第60位 712件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第48位 694件 下降2013年:第45位 796件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2014-49667 プラズマ処理装置及びこれを備えた基板処理装置 2014年 3月17日
特開 2014-49529 プラズマ処理装置及び金属の酸化膜を洗浄する方法 2014年 3月17日
特開 2014-49496 プラズマ処理方法、及びプラズマ処理装置 2014年 3月17日
特開 2014-49466 エッチング処理方法及び基板処理装置 2014年 3月17日
特開 2014-49362 プラズマ発生装置および基板処理装置 2014年 3月17日
特開 2014-49302 プラズマ処理装置、プラズマ生成装置、アンテナ構造体及びプラズマ生成方法 2014年 3月17日
特開 2014-45171 塗布処理方法及び塗布処理装置 2014年 3月13日
特開 2014-45168 不純物拡散方法 2014年 3月13日
特開 2014-45077 プラズマエッチング方法及びプラズマエッチング装置 2014年 3月13日
特開 2014-45063 プラズマ処理方法、及びプラズマ処理装置 2014年 3月13日
特開 2014-44974 剥離装置、剥離システム、剥離方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2014年 3月13日
特開 2014-41994 液処理装置および洗浄方法 2014年 3月 6日
特開 2014-41950 塗布装置及び塗布方法 2014年 3月 6日
特開 2014-41957 検査装置、接合システム、検査方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2014年 3月 6日
特開 2014-41956 検査装置、接合システム、検査方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2014年 3月 6日

685 件中 526-540 件を表示

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2014-49667 2014-49529 2014-49496 2014-49466 2014-49362 2014-49302 2014-45171 2014-45168 2014-45077 2014-45063 2014-44974 2014-41994 2014-41950 2014-41957 2014-41956

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