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東京エレクトロン株式会社

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  2011年 出願公開件数ランキング    第62位 621件 下降2010年:第57位 692件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第41位 739件 下降2010年:第39位 580件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 4747691 半導体装置の製造方法 2011年 8月17日
特許 4750820 プローブカード 2011年 8月17日
特許 4748803 基板処理装置、基板処理装置における被測定物の物理量測定方法及び記憶媒体 2011年 8月17日
特許 4748740 光学式異物検出装置およびこれを搭載した処理液塗布装置 2011年 8月17日
特許 4751538 処理システム 2011年 8月17日
特許 4752782 加熱装置及び加熱方法 2011年 8月17日
特許 4751460 基板搬送装置及び基板処理システム 2011年 8月17日
特許 4750176 表面処理方法及びその装置 2011年 8月17日
特許 4749683 エッチング方法 2011年 8月17日
特許 4748742 基板処理装置及び基板処理方法 2011年 8月17日
特許 4748683 液処理装置 2011年 8月17日
特許 4748263 塗布、現像装置 2011年 8月17日
特許 4748042 熱処理方法、熱処理装置及び記憶媒体 2011年 8月17日
特許 4748005 液処理装置、液処理方法及び記憶媒体。 2011年 8月17日
特許 4744175 基板処理装置 2011年 8月10日

739 件中 331-345 件を表示

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4747691 4750820 4748803 4748740 4751538 4752782 4751460 4750176 4749683 4748742 4748683 4748263 4748042 4748005 4744175

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