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■ 2011年 出願公開件数ランキング 第62位 621件
(2010年:第57位 692件)
■ 2011年 特許取得件数ランキング 第41位 739件
(2010年:第39位 580件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 4745365 | 基板の処理方法及び基板の処理装置 | 2011年 8月10日 | |
特許 4745040 | 基板搬送装置及び基板処理装置 | 2011年 8月10日 | |
特許 4744671 | 枚葉式処理装置 | 2011年 8月10日 | |
特許 4742431 | 熱処理装置 | 2011年 8月10日 | |
特許 4741769 | 半導体装置の製造方法 | 2011年 8月10日 | |
特許 4743495 | 流体加熱装置 | 2011年 8月10日 | |
特許 4745814 | プローブの研磨部材 | 2011年 8月10日 | |
特許 4745060 | プローブカード | 2011年 8月10日 | |
特許 4743716 | 基板処理装置 | 2011年 8月10日 | |
特許 4745958 | 基板を熱処理する処理システムおよび方法 | 2011年 8月10日 | |
特許 4745099 | 基板処理装置、搬送ピックのクリーニング方法、制御プログラムおよびコンピュータ読取り可能な記憶媒体 | 2011年 8月10日 | |
特許 4744458 | 基板位置決め装置および基板位置決め方法 | 2011年 8月10日 | |
特許 4738635 | 薬液処理装置及び薬液処理方法 | 2011年 8月 3日 | |
特許 4739142 | 薬液処理装置及び薬液供給方法並びに薬液供給プログラム | 2011年 8月 3日 | |
特許 4739532 | LCDガラス基板の搬送システム | 2011年 8月 3日 |
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4745365 4745040 4744671 4742431 4741769 4743495 4745814 4745060 4743716 4745958 4745099 4744458 4738635 4739142 4739532
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