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東京エレクトロン株式会社

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  2011年 出願公開件数ランキング    第62位 621件 下降2010年:第57位 692件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第41位 739件 下降2010年:第39位 580件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 4745365 基板の処理方法及び基板の処理装置 2011年 8月10日
特許 4745040 基板搬送装置及び基板処理装置 2011年 8月10日
特許 4744671 枚葉式処理装置 2011年 8月10日
特許 4742431 熱処理装置 2011年 8月10日
特許 4741769 半導体装置の製造方法 2011年 8月10日
特許 4743495 流体加熱装置 2011年 8月10日
特許 4745814 プローブの研磨部材 2011年 8月10日
特許 4745060 プローブカード 2011年 8月10日
特許 4743716 基板処理装置 2011年 8月10日
特許 4745958 基板を熱処理する処理システムおよび方法 2011年 8月10日
特許 4745099 基板処理装置、搬送ピックのクリーニング方法、制御プログラムおよびコンピュータ読取り可能な記憶媒体 2011年 8月10日
特許 4744458 基板位置決め装置および基板位置決め方法 2011年 8月10日
特許 4738635 薬液処理装置及び薬液処理方法 2011年 8月 3日
特許 4739142 薬液処理装置及び薬液供給方法並びに薬液供給プログラム 2011年 8月 3日
特許 4739532 LCDガラス基板の搬送システム 2011年 8月 3日

739 件中 346-360 件を表示

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4745365 4745040 4744671 4742431 4741769 4743495 4745814 4745060 4743716 4745958 4745099 4744458 4738635 4739142 4739532

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