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東京エレクトロン株式会社

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  2011年 出願公開件数ランキング    第62位 621件 下降2010年:第57位 692件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第41位 739件 下降2010年:第39位 580件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 4740330 基板処理方法および基板処理装置 2011年 8月 3日
特許 4740329 基板処理方法および基板処理装置 2011年 8月 3日
特許 4739057 熱処理装置、ヒータ及びその製造方法 2011年 8月 3日
特許 4738671 CVD成膜方法 2011年 8月 3日
特許 4740405 位置合わせ方法及びプログラム記録媒体 2011年 8月 3日
特許 4737638 現像処理装置 2011年 8月 3日
特許 4740414 基板搬送装置 2011年 8月 3日
特許 4740142 半導体製造プロセスを容易にする第1の原理シミュレーションを用いたシステム及び方法 2011年 8月 3日
特許 4739215 酸化膜の形成方法、制御プログラム、コンピュータ記憶媒体およびプラズマ処理装置 2011年 8月 3日
特許 4738085 塗布膜形成装置、及び塗布膜形成方法 2011年 8月 3日 共同出願
特許 4741574 イオン化物理的気相蒸着のための磁気強化容量プラズマ源 2011年 8月 3日 共同出願
特許 4740541 ファラデーシールドならびにウェハのプラズマ処理 2011年 8月 3日 共同出願
特許 4737809 半導体製造装置及び半導体製造方法 2011年 8月 3日 共同出願
特許 4737083 加熱装置及び塗布、現像装置並びに加熱方法 2011年 7月27日
特許 4733192 塗布処理方法及び塗布処理装置 2011年 7月27日

739 件中 361-375 件を表示

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4740330 4740329 4739057 4738671 4740405 4737638 4740414 4740142 4739215 4738085 4741574 4740541 4737809 4737083 4733192

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