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東京エレクトロン株式会社

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  2011年 特許取得件数ランキング    第41位 739件 下降2010年:第39位 580件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 4718141 薄膜形成方法及び薄膜形成装置 2011年 7月 6日
特許 4718054 縦型熱処理装置 2011年 7月 6日
特許 4718274 半導体製造装置,半導体製造装置の流量補正方法,プログラム 2011年 7月 6日
特許 4718189 プラズマ処理方法 2011年 7月 6日
特許 4718093 複合セグメント電極に供給される電力を制御するための方法並びにシステム 2011年 7月 6日
特許 4716362 基板処理システム及び基板処理方法 2011年 7月 6日
特許 4715207 半導体装置の製造方法及び成膜システム 2011年 7月 6日
特許 4716979 高密度プラズマ半導体プロセスにおける冷却された蒸着バッフル 2011年 7月 6日 共同出願
特許 4716370 低誘電率膜のダメージ修復方法及び半導体製造装置 2011年 7月 6日 共同出願
特許 4715747 プローブ装置に備えた重量物の旋回機構 2011年 7月 6日 共同出願
特許 4712994 プラズマ処理装置及び方法 2011年 6月29日 共同出願
特許 4714620 オゾンガス分解装置および処理システム 2011年 6月29日
特許 4712474 半導体装置、半導体装置の製造方法、半導体装置の製造方法プログラムおよび半導体製造装置 2011年 6月29日
特許 4713241 高速原子層堆積装置及び使用方法 2011年 6月29日
特許 4712240 光励起成膜装置及び光励起成膜方法 2011年 6月29日

739 件中 421-435 件を表示

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4718141 4718054 4718274 4718189 4718093 4716362 4715207 4716979 4716370 4715747 4712994 4714620 4712474 4713241 4712240

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