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東京エレクトロン株式会社

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  2019年 出願公開件数ランキング    第58位 660件 上昇2018年:第67位 588件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第58位 415件 下降2018年:第50位 503件)

(ランキング更新日:2020年5月28日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6584350 制御装置、基板処理システム、基板処理方法及びプログラム 2019年10月 2日
特許 6584352 制御装置、基板処理システム、基板処理方法及びプログラム 2019年10月 2日
特許 6584355 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2019年10月 2日
特許 6584356 基板処理装置及び基板処理装置の処理方法 2019年10月 2日
特許 6584532 研削装置および研削方法 2019年10月 2日
特許 6585180 膜形成装置及び膜形成方法 2019年10月 2日
特許 6585240 基板洗浄システム、基板洗浄方法および記憶媒体 2019年10月 2日
特許 6585242 基板洗浄装置、基板洗浄方法および記憶媒体 2019年10月 2日
特許 6586328 被処理体を処理する方法 2019年10月 2日
特許 6586394 静電容量を表すデータを取得する方法 2019年10月 2日
特許 6586443 被処理体を処理する方法 2019年10月 2日
特許 6586476 光増感化学増幅型レジスト材料及びこれを用いたパターン形成方法、並びに、半導体デバイス、リソグラフィ用マスク及びナノインプリント用テンプレートの製造方法 2019年10月 2日
特許 6579941 剥離システム 2019年 9月25日
特許 6580776 基板処理装置、基板処理方法および記憶媒体 2019年 9月25日
特許 6581831 保持部の姿勢維持機構 2019年 9月25日

418 件中 91-105 件を表示

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