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株式会社アルバック

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  2014年 出願公開件数ランキング    第254位 168件 下降2013年:第112位 434件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第185位 238件 下降2013年:第104位 384件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2014-109052 無機酸化物膜の形成装置、及び、IGZO膜の形成方法 2014年 6月12日
特開 2014-107470 タングステン膜の形成方法、タングステン配線層の形成方法及びスパッタリング装置 2014年 6月 9日
特開 2014-105368 スパッタリング装置、薄膜製造方法 2014年 6月 9日
再表 2012-86767 真空排気装置及び真空処理装置及び真空排気方法 2014年 6月 5日
特開 2014-101535 基板処理装置のアライメント機構 2014年 6月 5日
特開 2014-101564 コバルト膜の形成方法 2014年 6月 5日
特開 2014-99331 薄膜リチウム二次電池及びその作製方法 2014年 5月29日
特開 2014-98205 成膜装置 2014年 5月29日
再表 2012-86169 誘電体デバイスの製造方法及びアッシング方法 2014年 5月22日
特開 2014-96297 プラズマ処理装置 2014年 5月22日
再表 2012-86512 薄膜リチウム二次電池製造装置及び薄膜リチウム二次電池製造方法 2014年 5月22日
特開 2014-95122 マグネトロンスパッタ装置 2014年 5月22日
再表 2012-86183 トンネル磁気抵抗素子の製造方法 2014年 5月22日 共同出願
再表 2012-70184 リチウム硫黄二次電池用の正極及びその形成方法 2014年 5月19日
特開 2014-91861 スパッタリング方法及びスパッタリング装置 2014年 5月19日

168 件中 46-60 件を表示

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2014-109052 2014-107470 2014-105368 2012-86767 2014-101535 2014-101564 2014-99331 2014-98205 2012-86169 2014-96297 2012-86512 2014-95122 2012-86183 2012-70184 2014-91861

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