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株式会社アルバック

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  2011年 出願公開件数ランキング    第167位 266件 上昇2010年:第171位 294件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第133位 277件 上昇2010年:第152位 210件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 4714328 グラファイトナノファイバーの径の制御方法 2011年 6月29日
特許 4714322 窒化アルミ膜成膜方法 2011年 6月29日
特許 4713853 マグネトロンカソード電極及びマグネトロンカソード電極を用いたスパッタリング方法 2011年 6月29日
特許 4712614 真空処理装置 2011年 6月29日
特許 4714768 二次電子増倍素子を使用した測定方法及び二次電子増倍素子を使用した装置 2011年 6月29日
特許 4714384 ウエハエッジ部分の処理方法及びプラズマ処理装置 2011年 6月29日
特許 4713851 ドライエッチング装置及びドライエッチング方法 2011年 6月29日
特許 4707693 スパッタリング装置及びスパッタリング方法 2011年 6月22日
特許 4707403 パルス分割供給によるプラズマ処理方法及び装置並びにプラズマCVD方法 2011年 6月22日
特許 4701815 成膜装置 2011年 6月15日 共同出願
特許 4703803 アルミニウム材の電解研磨処理方法 2011年 6月15日
特許 4703844 グラファイトナノファイバー薄膜形成用熱CVD装置 2011年 6月15日
特許 4704267 蒸着源、蒸着装置 2011年 6月15日
特許 4703828 スパッタリング装置及び薄膜製造方法 2011年 6月15日
特許 4704189 液晶表示装置の製造方法 2011年 6月15日

277 件中 166-180 件を表示

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4714328 4714322 4713853 4712614 4714768 4714384 4713851 4707693 4707403 4701815 4703803 4703844 4704267 4703828 4704189

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